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반응성 스퍼터링법에 의해 제조된 PZT박막에 Ta첨가의 영향에 관한 연구 = A study on effects of Ta addition in PZT thin films by reactive sputteringlink 최광표; Choi, Gwang-Pyo; et al, 한국과학기술원, 1996 |
반응성 스퍼터링법으로 증착된 CoNx 중간층을 이용한 (100)Si 기판 위에서의 에피택셜 CoSi2 성장 연구 이승렬; 안병태; 김선일, 한국재료학회지, v.16, no.1, pp.30 - 36, 2006-01 |
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