Browse "Dept. of Materials Science and Engineering(신소재공학과)" by Subject EUV 리소그래피▼a농도 구배▼a스토케스틱 현상▼a블록공중합체▼a자기조립▼a폴리(스타이 렌)▼a폴리(펜타플루오로스타이렌)▼a4-(털트-부틸다이메틸실록시)스타이렌▼a수직배향▼a종횡비
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| Improving aspect ratio for extreme ultraviolet (EUV) pattern via encapsulating Si-containing gradient block copolymer = 실리콘 블록이 함유된 농도구배를 갖는 블록공중합체의 자기조립 현상을 이용한 극 자외선 패턴의 종횡비 개선 연구link Park, Yemin; Jung, Yeon Sik; et al, 한국과학기술원, 2021 |
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