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Browse "Dept. of Materials Science and Engineering(신소재공학과)" by Subject 패키징▼aTSV▼a구리직접접합▼a고분자▼a기계화학적연마▼a벤조사이클로부틴▼a아르곤 플라즈마▼a열압착 접합

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Study on the copper/polymer hybrid bonding using benzocyclobutene (BCB) polymer with chemical mechanical polishing (CMP) method = 벤조사이클로부텐 폴리머를 활용한 기계화학적 연마 기반 구리/폴리머 하이브리드 접합 공정 기술에 관한 연구link

Park, Juseong; 박주성; et al, 한국과학기술원, 2024

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