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증착변수가 $Si_3N_4$ 증착속도에 미치는 영향에 대한 연구 = The effects of deposition variables on deposition rate in chemical vapor deposition of $Si_3N_4$ onto silicon single crystallink 김지범; Kim, Ji-Bum; et al, 한국과학기술원, 1984 |
질화반응 속도가 반응결합 질화규소의 미세구조에 미치는 영향 = Influence of nitridation rate on the microstructure of reaction-bonded silicon nitridelink 전계남; Chon, Kyea-Nam; et al, 한국과학기술원, 1984 |
혼합기체의 분위기가 반응결합질화규소의 미세구조에 미치는 영향 = Effect of the mixed gas atmospheres on the microstructure of reaction bonded $Si_3N_4$link 박지연; Park, Ji-Yeon; et al, 한국과학기술원, 1984 |
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