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2차원 전사층 및 블록공중합체를 이용한 나노구조체 제조방법, 이에 의하여 제조된 나노구조체 및 그 응용소자 김상욱; 김주영; 김봉훈; 황진옥; 정성준; 신동옥; 최영주, 2014-01-21 |
(A) study on improved nanolithography process in PS-b-PMMA block copolymer system = PS-b-PMMA 블록공중합체 시스템의 향상된 나노리소그래피 공정에 대한 연구link Choi, Young Joo; 최영주; Kim, Sang Ouk; 김상욱; et al, 한국과학기술원, 2017 |
Cantilever set, detection device, method of analyzing surface and method of forming micropattern 김상욱; 이경미; 박정주; 권승철; 김은성; 이시용; 최영주 |
원자힘 현미경용 캔틸레버 세트, 이를 포함하는 기판 표면 검사 장치, 이를 이용한 반도체 기판의 표면 분석 방법 및 이를 이용한 미세 패턴 형성 방법 김상욱; 이경미; 박정주; 권승철; 김은성; 이시용; 최영주 |
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