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(A) study on the ald modeling for process design of multi-component thin films = 다성분계박막 공정설계를 위한 원자층증착법 모델링에 대한 연구link Chung, Hoi-Sung; 정회성; et al, 한국과학기술원, 2008 |
(A) study on the plasma-enhanced atomic layer deposition of TaN thin films = Peald 법으로 증착된 TaN 박막 특성에 관한 연구link Chung, Hoi-Sung; 정회성; et al, 한국과학기술원, 2004 |
원자층증착법 시뮬레이션 방법 강상원; 김진혁; 정회성, 2007-05-01 |
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