Showing results 2 to 3 of 3
PEVED 법에 의한 μC-Si:H 박막의 성장과 a-Si 박막의 고상결정화 = Growth of μC-Si films and solid phase recrystallization of a-Si films deposited by PECVDlink 문대규; Moon, Dae-Gyu; et al, 한국과학기술원, 1994 |
입자크기가큰다결정규소박막의제조방법 임호빈; 안병태; 문대규; 이정노 |
Discover