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100keV O+이온 빔에 의한 SIMOX SOI의 SI-SiO2의 계면 구조 김영필; 최시경; 김현경; 문대원, 한국진공학회지, v.7, no.1, pp.35 - 42, 1998-01 |
Observation of the Si lattice strain in the Si(001)-SiO2 interface transition layer using medium energy ion scattering 최시경; 김영필; 김현경; 문대원, 추계 한국요업학회, pp.129 -, 1997 |
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