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금속유도성장법과 기상유도결정화법을 이용한 저온 다결정 Si 박막 제조에 관한 연구 = Low temperature fabrication of poly-Si film by metal-induced growth and vapor-induced crystallizationlink 안경민; Ahn, Kyung-Min; et al, 한국과학기술원, 2011 |
화학적 산화막 중간층을 이용한 비정질 Si 박막의 기상유도결정화 연구 = Vapor induced crystallization of amorphous Si flims using chemical oxide interlayerlink 안경민; Ahn, Kyung-Min; et al, 한국과학기술원, 2006 |
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