알루미늄 박판의 다단 전해식각을 통한 3차원 마이크로 구조물의 제작
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김윤지 | - |
| dc.contributor.author | 윤세찬 | - |
| dc.contributor.author | 한원 | - |
| dc.contributor.author | 조영호 | - |
| dc.contributor.author | 박호준 | - |
| dc.contributor.author | 장병규 | - |
| dc.contributor.author | 오용수 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-27T04:41:39Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-27T04:41:39Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 2009-04-03 | - |
| dc.identifier.citation | 제11회 한국 MEMS 학술대회, v., no., pp.55 - 56 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/159189 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.title | 알루미늄 박판의 다단 전해식각을 통한 3차원 마이크로 구조물의 제작 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.beginningpage | 55 | - |
| dc.citation.endingpage | 56 | - |
| dc.citation.publicationname | 제11회 한국 MEMS 학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 조영호 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김윤지 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 윤세찬 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 한원 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 박호준 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 장병규 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 오용수 | - |
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