CoX(X=CrPtTa)/CrTi 자성박막의 마그네트론 스퍼터-증착 중에 발생하는 표면응력변화의 실시간 측정
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이승현 | ko |
| dc.contributor.author | 박중근 | ko |
| dc.date.accessioned | 2013-03-18T18:56:35Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-18T18:56:35Z | - |
| dc.date.created | 2012-04-10 | - |
| dc.date.issued | 2006-04 | - |
| dc.identifier.citation | 대한금속재료 학회 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/151405 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 대한금속재료 학회 | - |
| dc.title | CoX(X=CrPtTa)/CrTi 자성박막의 마그네트론 스퍼터-증착 중에 발생하는 표면응력변화의 실시간 측정 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 대한금속재료 학회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | KO | - |
| dc.identifier.conferencelocation | 창원컨벤션센터(CECO) | - |
| dc.contributor.localauthor | 박중근 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이승현 | - |
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