스퍼터링으로 증착한 Cr박막과 CoX(X=CrPtTa)/Cr 다층 박막의 표면응력변화 실시간 측정
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 배형빈 | ko |
| dc.contributor.author | 박중근 | ko |
| dc.contributor.author | 하걸욱 | ko |
| dc.date.accessioned | 2013-03-18T18:55:17Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-18T18:55:17Z | - |
| dc.date.created | 2012-04-10 | - |
| dc.date.issued | 2004-10 | - |
| dc.identifier.citation | 대한금속재료학회 추계대회 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/151396 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 대한금속재료학회 | - |
| dc.title | 스퍼터링으로 증착한 Cr박막과 CoX(X=CrPtTa)/Cr 다층 박막의 표면응력변화 실시간 측정 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 대한금속재료학회 추계대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | KO | - |
| dc.identifier.conferencelocation | 부산전시컨벤션센터(BEXCO) | - |
| dc.contributor.localauthor | 박중근 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 배형빈 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 하걸욱 | - |
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- MS-Conference Papers(학술회의논문)
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