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유전알고리즘과 커널 부분최소제곱회귀를 이용한 반도체 공정의 가상계측 모델 개발 김보건; 염봉진, 산업공학(IE INTERFACES), v.23, no.3, pp.229 - 238, 2010-09 |
유전알고리즘과 커널 부분최소제곱회귀를 이용한 반도체 공정의 가상계측 모델 개발 = Development of virtual metrology models in semiconductor manufacturing using genetic algorithm and kernel partial least squares regressionlink 김보건; Kim, Bo-Keon; et al, 한국과학기술원, 2010 |
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