미소유체소자의 제작을 위한 양면 노광 3차원 후막 감광막 몰드 형성 기술 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 윤의식 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-18T15:17:09Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-18T15:17:09Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 2003 | - |
| dc.identifier.citation | 제5회 한국 MEMS 학술대회, v., no., pp.30 - 33 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/149650 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.title | 미소유체소자의 제작을 위한 양면 노광 3차원 후막 감광막 몰드 형성 기술 연구 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.beginningpage | 30 | - |
| dc.citation.endingpage | 33 | - |
| dc.citation.publicationname | 제5회 한국 MEMS 학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 윤의식 | - |
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- RIMS Conference Papers
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