DUV lithography 위상 변위 마스크용 Zr, Hf oxide 의 전자 상태 및 천이 상태 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 노광수 | - |
| dc.contributor.author | 김성관 | - |
| dc.contributor.author | 김양수 | - |
| dc.contributor.author | 허성민 | - |
| dc.contributor.author | 최성운 | - |
| dc.contributor.author | 손정민 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-17T06:45:06Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-17T06:45:06Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 2003-11-01 | - |
| dc.identifier.citation | 한국재료학회 추계학술대회, v.0, no.0, pp.0 - 0 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/140788 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.publisher | 한국재료학회 | - |
| dc.title | DUV lithography 위상 변위 마스크용 Zr, Hf oxide 의 전자 상태 및 천이 상태 연구 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.volume | 0 | - |
| dc.citation.issue | 0 | - |
| dc.citation.beginningpage | 0 | - |
| dc.citation.endingpage | 0 | - |
| dc.citation.publicationname | 한국재료학회 추계학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 노광수 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김성관 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김양수 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 허성민 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 최성운 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 손정민 | - |
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