3차원 리소그래피 기술 및 패턴 전사 기술을 이용한 다양한 3차원 미소구조체 제작
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 전진완 | - |
| dc.contributor.author | 윤준보 | - |
| dc.contributor.author | 최준용 | - |
| dc.contributor.author | 임굉수 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-17T05:56:39Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-17T05:56:39Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 2006-04-06 | - |
| dc.identifier.citation | 제8회 한국MEMS 학술대회, v., no., pp.537 - 540 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/140436 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.title | 3차원 리소그래피 기술 및 패턴 전사 기술을 이용한 다양한 3차원 미소구조체 제작 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.beginningpage | 537 | - |
| dc.citation.endingpage | 540 | - |
| dc.citation.publicationname | 제8회 한국MEMS 학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 윤준보 | - |
| dc.contributor.localauthor | 임굉수 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 전진완 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 최준용 | - |
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