beta-keto acid를 포함한 포토레지스트의 합성과 리소그라피 평가
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김진백 | - |
| dc.contributor.author | 김경선 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-16T21:47:48Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-16T21:47:48Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 2000-10 | - |
| dc.identifier.citation | 한국고분자학회 2000년도 추계학술대회, v., no., pp.286 - 286 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/136228 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.publisher | 한국고분자학회 | - |
| dc.title | beta-keto acid를 포함한 포토레지스트의 합성과 리소그라피 평가 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.beginningpage | 286 | - |
| dc.citation.endingpage | 286 | - |
| dc.citation.publicationname | 한국고분자학회 2000년도 추계학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 김진백 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김경선 | - |
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- CH-Conference Papers(학술회의논문)
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