레이저 어닐링된 다결정 실리콘과 ECR N2O-플라즈마 게이트 산화막을 사용한 다결정 실리콘 박막트랜지스터의 신뢰성
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 한철희 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-16T13:07:20Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-16T13:07:20Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1999 | - |
| dc.identifier.citation | 통신/전자 학술대회, v., no., pp.170 - 177 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/131569 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.title | 레이저 어닐링된 다결정 실리콘과 ECR N2O-플라즈마 게이트 산화막을 사용한 다결정 실리콘 박막트랜지스터의 신뢰성 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.beginningpage | 170 | - |
| dc.citation.endingpage | 177 | - |
| dc.citation.publicationname | 통신/전자 학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 한철희 | - |
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- RIMS Conference Papers
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