Showing results 1 to 2 of 2
Six degrees-of-freedom dual-servo stage using magnetic levitation technology = 자기 부상 기술을 이용한 6자유도 이중서보 스테이지link Choi, Young-Man; 최영만; et al, 한국과학기술원, 2008 |
자기 부상을 이용한 웨이퍼 반송 시스템에 관한 연구 = A study on wafer transport system based on magnetic levitationlink 안길영; Ahn, Kil-Young; et al, 한국과학기술원, 1996 |
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