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Execution system of the simulator of integrated single-wafer processing tools = 매엽식 반도체 통합제조장비 시뮬레이터의 동적 실행 방법link Jeon, Young-Ha; 전영하; et al, 한국과학기술원, 2005 |
Spin-on glass를 이용한 실리콘과 유리의 저온 접합 공정 = Low temperature bonding process of silicon and glass using spin-on glasslink 이재학; Lee, Jae-Hak; et al, 한국과학기술원, 2005 |
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