RF 마그네트론 스퍼터링으로 제조된 Pb(Zr,Ti)O3 박막의 특성
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 노광수 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-16T03:35:41Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-16T03:35:41Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 2002-01-01 | - |
| dc.identifier.citation | 한국진공학회 하계학술대회발표, v., no., pp. - | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/127067 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.publisher | 한국진공학회 | - |
| dc.title | RF 마그네트론 스퍼터링으로 제조된 Pb(Zr,Ti)O3 박막의 특성 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 한국진공학회 하계학술대회발표 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 노광수 | - |
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