표면 미세가공기술을 이용한 수평감지방식의 정전용량형 다결정 실리콘 가속도계
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김종팔 | - |
| dc.contributor.author | 한기호 | - |
| dc.contributor.author | 조영호 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-15T21:42:47Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-15T21:42:47Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1997-07-21 | - |
| dc.identifier.citation | 대한전기학회 하계학술대회, v., no., pp.2614 - 2616 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/124178 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.title | 표면 미세가공기술을 이용한 수평감지방식의 정전용량형 다결정 실리콘 가속도계 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.beginningpage | 2614 | - |
| dc.citation.endingpage | 2616 | - |
| dc.citation.publicationname | 대한전기학회 하계학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 조영호 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김종팔 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 한기호 | - |
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- BiS-Conference Papers(학술회의논문)
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