수소 플라즈마를 이용한 비정질 실리콘 박막의 저온 결정화에 관한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이재영 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-15T19:52:33Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-15T19:52:33Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1998 | - |
| dc.identifier.citation | 한국수소에너지학회 춘계학술대회, v., no., pp. - | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/123247 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.title | 수소 플라즈마를 이용한 비정질 실리콘 박막의 저온 결정화에 관한 연구 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 한국수소에너지학회 춘계학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 이재영 | - |
- Appears in Collection
- MS-Conference Papers(학술회의논문)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.