DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | 한철희 | - |
dc.date.accessioned | 2013-03-15T17:21:00Z | - |
dc.date.available | 2013-03-15T17:21:00Z | - |
dc.date.created | 2012-02-06 | - |
dc.date.issued | 1996 | - |
dc.identifier.citation | 대한전자공학회 하계 종합학술대회, v., no., pp.309 - 312 | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/121770 | - |
dc.language | KOR | - |
dc.title | 실리콘 마이크로머시닝을 위한 2단계 전기화학적 실리콘 식각 방법 | - |
dc.type | Conference | - |
dc.type.rims | CONF | - |
dc.citation.beginningpage | 309 | - |
dc.citation.endingpage | 312 | - |
dc.citation.publicationname | 대한전자공학회 하계 종합학술대회 | - |
dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
dc.contributor.localauthor | 한철희 | - |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.