박막의 기울기 변형을 이용한 열공압 구동방식의 장행정 소형 액추에이터
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 강태구 | - |
| dc.contributor.author | 서경선 | - |
| dc.contributor.author | 조영호 | - |
| dc.contributor.author | 백오현 | - |
| dc.contributor.author | 황웅린 | - |
| dc.contributor.author | 문재호 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-15T15:16:59Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-15T15:16:59Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1997-04-26 | - |
| dc.identifier.citation | 대한전기학회 MEMS연구회 학술발표회, v., no., pp.157 - 166 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/120669 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.title | 박막의 기울기 변형을 이용한 열공압 구동방식의 장행정 소형 액추에이터 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.beginningpage | 157 | - |
| dc.citation.endingpage | 166 | - |
| dc.citation.publicationname | 대한전기학회 MEMS연구회 학술발표회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 조영호 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 강태구 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 서경선 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 백오현 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 황웅린 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 문재호 | - |
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