E-beam Evaporation 2방법에 의해 증착된 고유전율 박막용 Pt 하부전극에 관한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이희철 | - |
| dc.contributor.author | 차선용 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-15T14:16:33Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-15T14:16:33Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1995 | - |
| dc.identifier.citation | 제 2회 한국반도체 학술대회, v., no., pp.107 - 108 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/120159 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.title | E-beam Evaporation 2방법에 의해 증착된 고유전율 박막용 Pt 하부전극에 관한 연구 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.beginningpage | 107 | - |
| dc.citation.endingpage | 108 | - |
| dc.citation.publicationname | 제 2회 한국반도체 학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 이희철 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 차선용 | - |
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- EE-Conference Papers(학술회의논문)
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