정전 반발력을 이용한 수평구동형 미소정전 액추에이터
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이기방 | - |
| dc.contributor.author | 조영호 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-15T02:20:45Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-15T02:20:45Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1997-04-26 | - |
| dc.identifier.citation | 대한전기학회 MEMS연구회 학술발표회, v., no., pp.167 - 176 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/115704 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.title | 정전 반발력을 이용한 수평구동형 미소정전 액추에이터 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.beginningpage | 167 | - |
| dc.citation.endingpage | 176 | - |
| dc.citation.publicationname | 대한전기학회 MEMS연구회 학술발표회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 조영호 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이기방 | - |
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- BiS-Conference Papers(학술회의논문)
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