Cl2 기체와 Ar 이온빔을 이용한 화합물 반도체의 비등방적 식각연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 신재헌 | - |
| dc.contributor.author | 유지영 | - |
| dc.contributor.author | 이용희 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-14T15:49:25Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-14T15:49:25Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1994-01-01 | - |
| dc.identifier.citation | 제68회 한국물리학회 학술발표회, v., no., pp.0 - 0 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/110415 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.publisher | 한국물리학회 | - |
| dc.title | Cl2 기체와 Ar 이온빔을 이용한 화합물 반도체의 비등방적 식각연구 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.beginningpage | 0 | - |
| dc.citation.endingpage | 0 | - |
| dc.citation.publicationname | 제68회 한국물리학회 학술발표회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 이용희 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 신재헌 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 유지영 | - |
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