RF 스퍼터링으로 제조된 a-SiC:H 박막의 결합구조와 광학적 성질에 미치는 증착변수의 영향
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 권혁상 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-14T15:28:27Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-14T15:28:27Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1992 | - |
| dc.identifier.citation | 한국표면공학회 춘계 학술 발표회, v., no., pp. - | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/110222 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.publisher | 한국표면공학회 | - |
| dc.title | RF 스퍼터링으로 제조된 a-SiC:H 박막의 결합구조와 광학적 성질에 미치는 증착변수의 영향 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 한국표면공학회 춘계 학술 발표회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 권혁상 | - |
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