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Browse "College of Natural Sciences(자연과학대학)" by Author 주성엔지니어링(주),한국과학기술원

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유도 결합형 플라즈마 발생용 안테나 장치

장홍영; 이용관; 윤남식; 김성식; 이평우, 2002-05-13

2
플라즈마 발생 장치

장홍영; 서상훈; 인정환, 2011-12-27

3
플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치

장홍영; 서상훈; 이윤성, 2013-05-09

4
플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치

장홍영; 서상훈; 이윤성, 2013-03-19

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