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Helicon wave 플라즈마 발생과 특성 연구 김정형; 송선규; 장홍영, 응용물리, v.7, no.1, pp.59 - 64, 1994-11 |
고밀도 Helicon Plasma를 이용한 저유전율의 SiOF박막 증착 연구 김정형; 서상훈; 윤석민; 장홍영, 한국진공학회 제9회 학술발표회, 한국진공학회, 1995 |
전자 싸이클로트론 방정식 플라즈마 식각장치 내부의 F활성 원자 수송에 대한 2차원 모델링 김용진; 윤남식; 김정형; 이평우; 송선규; 장충석; 장홍영, 응용물리, v.8, no.1, pp.60 - 67, 1995-11 |
전자싸이클로트론 공명에 의한 Ar 방전 플라즈마에서의 전자밀도 및 이온에너지의 특성 김용진; 김정형; 이평우; 송선규; 장홍영; 장충석, 새물리, v.34, no.3, pp.277 - 285, 1994-06 |
지기거울 시스템에서 ECR 방법에 의한 플라즈마 발생 및 플라즈마 특성조사 = Plasma production using ECR method and investigation of its characteristics in the mirror machinelink 김정형; Kim, Jung-Hyung; et al, 한국과학기술원, 1992 |
헬리콘 플라즈마에서 이온 에너지 분포 및 플라즈마 전위에 관한 연구 김정형; 서상훈; 장홍영, 한국진공학회 학술발표회, 한국진공학회, 1995 |
헬리콘 플라즈마에서 이온 에너지 분포 및 플라즈마 전위에 관한 연구 김정형; 서상훈; 장홍영, 한국진공학회지, v.4, no.2, pp.201 - 209, 1995 |
헬리콘 플라즈마의 전기적 특성 윤석민; 서상훈; 김정형; 장홍영, 한국진공학회 제10회 학술발표회, 한국진공학회, 1996-03 |
헬리콘파 플라즈마 발생 및 특성 연구 = Study of helicon wave plasma production and its characteristicslink 김정형; Kim, Jung-Hyung; et al, 한국과학기술원, 1996 |
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