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A study on the characteristics of RF multi hole cathode CCP discharge in various noble gas = 복수 홀 전극 구조를 갖는 축전 결합 RF 방전 특성에 관한 연구link Lee, Hun-su; 이헌수; et al, 한국과학기술원, 2011 |
Research of non-uniformity in 450 mm multi-electrode capacitive coupled plasma Park, Gi Jung; Lee, Yoon Seong; Seo, Sang Hoon; Chung, Chin Wook; Chang, Hong-Young, THIN SOLID FILMS, v.547, pp.293 - 298, 2013-11 |
균일도와 효율 개선을 위한 유도 결합 플라즈마에 관한 연구 = Study on inductively coupled plasma for uniformity and efficiency improvementlink 엄정환; Um, Jung-hwan; et al, 한국과학기술원, 2008 |
박막형 실리콘 태양전지 증착을 위한 대면적 고속 증착장비 연구 = Study on the VHF multi-electrode CCP for the microcrystalline silicon thin film solar cellslink 이윤성; Lee, Yun-Seong; et al, 한국과학기술원, 2013 |
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