Showing results 1 to 6 of 6
A study on the characteristics of RF multi hole cathode CCP discharge in various noble gas = 복수 홀 전극 구조를 갖는 축전 결합 RF 방전 특성에 관한 연구link Lee, Hun-su; 이헌수; et al, 한국과학기술원, 2011 |
On the uniformity of electric field controlled plasma sources = 전기장으로 제어된 플라즈마 소스의 균일도에 관한 연구link Lee, Yong-Kwan; 이용관; et al, 한국과학기술원, 2003 |
Simulation for solving uniformity problem of large area CCP = 대면적 축전 결합 플라즈마의 균일도 문제를 해결하기 위한 모의 실험link Park, Gi-Jung; 박기정; et al, 한국과학기술원, 2011 |
(The) discrepancy and monte carlo methods in a nonconvex domain = 비볼록 영역에서의 불일치도와 몬테카를로 방법link Lee, Ju-ho; 이주호; et al, 한국과학기술원, 2008 |
균일도와 효율 개선을 위한 유도 결합 플라즈마에 관한 연구 = Study on inductively coupled plasma for uniformity and efficiency improvementlink 엄정환; Um, Jung-hwan; et al, 한국과학기술원, 2008 |
박막형 실리콘 태양전지 증착을 위한 대면적 고속 증착장비 연구 = Study on the VHF multi-electrode CCP for the microcrystalline silicon thin film solar cellslink 이윤성; Lee, Yun-Seong; et al, 한국과학기술원, 2013 |
Discover