Showing results 1 to 3 of 3
Capacitive Electron Cooling in an Inductively Coupled Plasma Source/Capacitively Coupled Plasma Bias Reactor Jun, Hyun-Su; Lee, Dong-Seok; Chang, Hong-Young, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, v.52, no.10, 2013-10 |
대면적 플라즈마를 위한 병렬 공명 안테나의 개발과 그 특성에 관한 연구 = A study of parallel resonance antenna for large area plasmalink 이동석; Lee, Dong-Seok; et al, 한국과학기술원, 2000 |
병렬 공명 안테나를 이용한 유도 결합 플라즈마 원 개발 및 플라즈마 변수 제어에 관한 연구 = Development of an inductively coupled plasma source using a parallel resonance antenna and study on the plasma parameter controllink 이동석; Lee, Dong-Seok; et al, 한국과학기술원, 2005 |
Discover