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DUV submicron 리소그라피를 위한 5 반사광학계의 설계와 평가 = Design and evaluation of the five mirror optical system for DUV submicron lithographylink 이동희; Lee, Dong-Hee; 공홍진; 이상수; et al, 한국과학기술원, 1994 |
모든 3차 수차와 5차 구면수차를 제거하여 얻은 극자외선 리소그라피용 5-반사광학계 이동희; 공홍진; 이상수, 한국광학회지, v.4, no.4, pp.373 - 376, 1993 |
표면 코로나 방전을 이용한 TEA $CO_2$ 레이저의 출력 특성 = Output characteristics of surface corona discharge TEA $CO_2$ laserlink 이동희; Lee, Dong-Hee; et al, 한국과학기술원, 1988 |
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