Browse "College of Natural Sciences(자연과학대학)" by Author 윤석민
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| Characteristics of helicon wave plasmas and application to low dielectric film deposition = 헬리콘 파 플라즈마의 특성 및 저유전율 박막 증착에의 응용link Yun, Seok-Min; 윤석민; et al, 한국과학기술원, 1999 |
| 고밀도 Helicon Plasma를 이용한 저유전율의 SiOF박막 증착 연구 김정형; 서상훈; 윤석민; 장홍영, 한국진공학회 제9회 학술발표회, 한국진공학회, 1995 |
| 헬리콘 플라즈마의 전기적 특성 윤석민; 서상훈; 김정형; 장홍영, 한국진공학회 제10회 학술발표회, 한국진공학회, 1996-03 |
| 헬리콘 플라즈마의 전기적 특성 = Electrical characteristics of helicon plasmalink 윤석민; Yun, Seok-Min; et al, 한국과학기술원, 1996 |
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Type
- 14,086 Article
- 7,783 Conference
- 933 Patent
- 2,845 Thesis(Master)
- 2,363 Thesis(Ph.D)
Open Access
Date issued
- 3,107 2020 - 2024
- 10,009 2010 - 2019
- 7,104 2000 - 2009
- 5,174 1990 - 1999
- 1,970 1980 - 1989