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Research on characteristics of the low pressure and low density e-beam plasma and its application to etching process = 저압 저밀도 전자빔 플라즈마의 특성과 에칭 공정 응용에 대한 연구link Bae, In Shik; 배인식; et al, 한국과학기술원, 2017 |
발진기 및 발진기의 제조 방법 장홍영; 배인식; 나병근, 2014-05-28 |
전자빔과 축전결합 플라즈마를 이용한 플라즈마 처리 장치 장홍영; 배인식; 박기정, 2018-01-12 |
증발형 증착 장치 및 증착 방법 장홍영; 배인식, 2013-10-22 |
테슬러 코일을 이용한 미세먼지 차단 시스템 장홍영; 배인식, 2016-11-07 |
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