Showing results 1 to 2 of 2
Arcing phenomenon in RF discharge = RF방전에서의 아킹현상link Kim, Yong-Hoon; 김용훈; et al, 한국과학기술원, 2005 |
Study on the arcing mechanism in capacitively-coupled plasma = 축전 결합 플라즈마에서의 아킹 메커니즘에 대한 연구link Kim, Yonghoon; 김용훈; et al, 한국과학기술원, 2015 |
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