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UV와 전자빔을 이용한 저온 플라즈마 생성에 관한 연구 = Study on low temperature plasma generation with UV and electron beam(e-beam)link 채수항; Chae, Soo-Hang; et al, 한국과학기술원, 2004 |
전자빔으로 생성되는 플라즈마의 특성과 전자빔 플라즈마를 이용하여 공정용 가스의 이온 및 활성종 제어에 관한 연구 = Study on the characteristics of electron beam generated plasma and the control of ions and radicals in electron beam generated plasmalink 채수항; Chae, Soo-Hang; et al, 한국과학기술원, 2010 |
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