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Characteristics of helicon wave plasmas and application to low dielectric film deposition = 헬리콘 파 플라즈마의 특성 및 저유전율 박막 증착에의 응용link Yun, Seok-Min; 윤석민; et al, 한국과학기술원, 1999 |
헬리콘 플라즈마의 전기적 특성 = Electrical characteristics of helicon plasmalink 윤석민; Yun, Seok-Min; et al, 한국과학기술원, 1996 |
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