퍼지 적응 제어기를 이용한 플라즈마 식각장비의 제어
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 임종태 | - |
| dc.contributor.author | 노지명 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-14T05:47:02Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-14T05:47:02Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1994 | - |
| dc.identifier.citation | 한국 자동제어 학술회의 논문집, v., no., pp.997 - 1002 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/105823 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.publisher | 대한전자공학회 | - |
| dc.title | 퍼지 적응 제어기를 이용한 플라즈마 식각장비의 제어 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.beginningpage | 997 | - |
| dc.citation.endingpage | 1002 | - |
| dc.citation.publicationname | 한국 자동제어 학술회의 논문집 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 임종태 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 노지명 | - |
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- EE-Conference Papers(학술회의논문)
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