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(A) study on impedance matching in a large-area transformer coupled plasma source = 대면적 transformer coupled plasma원에서의 임피던스 정합에 관한 연구link Kim, Man-Cheol; 김만철; et al, 한국과학기술원, 1999 |
Study of power coupling experiments in a large-area transformer coupled plasma source = 대면적 transformer coupled plasma 원에서 파워 결합 실험에 관한 연구link Kim, Hee-Joon; 김희준; et al, 한국과학기술원, 1998 |
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