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마이크로웨이브 플라즈마 화학증착법에 의한 다이아몬드 박막의 Heteroepitaxy 성장에 관한 연구 = The study on the heteroepitaxial growth of diamond films synthesized by microwave plasma enhanced chemical vapor depositionlink

김윤기; Kim, Yoon-Kee; et al, 한국과학기술원, 1997

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