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(A) study on improved nanolithography process in PS-b-PMMA block copolymer system = PS-b-PMMA 블록공중합체 시스템의 향상된 나노리소그래피 공정에 대한 연구link

Choi, Young Joo; 최영주; Kim, Sang Ouk; 김상욱; et al, 한국과학기술원, 2017

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