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Development of six-axis parallel nano-positioning system based on flexure joints and piezoelectric stepping positioners = 유연 기구와 피에조 모터를 이용한 6축 병렬 나노 위치결정 시스템의 개발에 관한 연구link Kang, Dong-Woo; 강동우; et al, 한국과학기술원, 2007 |
나노 정밀도를 갖는 다축 수직형 마스크 얼라이너의 설계 및 제어에 관한 연구 = Design and Control of a Nano-Precision Multi-Axis Vertical Mask Alignerlink 김효영; Kim, Hyo-Young; et al, 한국과학기술원, 2009 |
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