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AlN와 AlN:H 박막 특성에 대한 질소 플라즈마 처리 효과에 관한 연구 = Effects of nitrogen plasma treatment on the characteristics of AlN and AlN:H thin filmlink 조민희; Cho, Min-Hee; et al, 한국과학기술원, 2000 |
Feasibility study on high current density ion sources using a compact high density plasma source = 소형 고 밀도 플라즈마원을 이용한 고 전류밀도 이온원의 타당성 연구link Hong, In-Seok; 홍인석; et al, 한국과학기술원, 1998 |
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