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단일 서보를 이용한 정밀 직선 구동 시스템의 설계와 제어에 관한 연구 = Design and control of one servo type precision positioning systemlink 김용상; Kim, Yong-Sang; et al, 한국과학기술원, 1999 |
리소그라피 장비에서 XYtheta 미세구동기의 최적 설계 및 제어 Kim, Dong Min; Kim, Ki Hyun; Lee, Sung Q; Gweon, Dae Gab, Journal of the Korean Society for Precision Engineering, Vol.19, No.12, 2002-12 |
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