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Browse by Subject 강유전체▼a지르코늄이 도핑된 하프늄 산화물▼a원자간 증착▼a과산화수소▼a산소 플라즈마

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과산화수소 산화제 기반 원자층 증착을 이용한 $Hf_{0.5}Zr_{0.5}O_2$ 강유전체 박막 제조 = Fabrication of ㄹerroelectric $Hf_{0.5}Zr_{0.5}O_2$ Thin Film by Atomic Layer Deposition (ALD) using $H_2O_2$ Oxidantlink

Kim, Hyoung Kyu; Hong, Seungbum; et al, 한국과학기술원, 2020

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