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Browse by Subject 강유전체 커패시터▼a누설 전류▼a확산 방지막▼a금속 질화물

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확산 방지막을 사용한 하프니아 기반의 강유전체 소자에 대한 연구 = Hafnia-based ferroelectric device with diffusion barrierlink

김민기; 전상훈; et al, 한국과학기술원, 2022

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