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롤 기반 나노임프린트 리소그래피 시스템 기술 임형준; 이재종; 최기봉; 김기홍; 이성휘, 한국기계가공학회지, v.12, no.5, pp.1 - 8, 2013-10 |
분자동역학을 이용한 나노임프린트 리소그래피에서의 패턴 전사에 관한 연구 = A molecular dynamics study on pattern transfer in nanoimprint lithographylink 강지훈; Kang, Ji-Hoon; et al, 한국과학기술원, 2007 |
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